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如何规范电子厂净化过程中的恒温恒湿洁净车间?

如何规范电子厂净化过程中的恒温恒湿洁净车间? 

在净化工程的设计过程中,应加强对电子工业的恒温恒湿洁净车间设计方案的分析和理解。根据新建的恒温恒湿洁净车间项目或的恒温恒湿洁净车间造项目的要求,结合具体的的恒温恒湿洁净车间生产工艺和生产工艺,确定洁净度,温度和湿度要求。根据项目的具体情况,我们还必须考虑到制造商的经济承受能力,并综合确定各种因素来确定使用哪种的恒温恒湿洁净车间净化方案,以便我们能够设计甲方的生产和使用要求,以及项目成本合理。经济实用的解决方案。 

电子净化工程结构材 

1.恒温恒湿洁净车间净化厂房墙壁和顶板一般由50mm厚的夹层彩钢板制成,具有外形美观,刚性好的特点。弧形墙角,门,窗框等通常由特殊的氧化铝型材制成。

2.恒温恒湿洁净车间地面可采用环氧自流地板或高档耐磨塑胶地板。如果有防静电要求,可以使用防静电类型。

3.恒温恒湿洁净车间回风管采用热浸锌板制作,附有净化效果好的阻燃PF发泡塑料板。

4.恒温恒湿洁净车间高效供气口,不锈钢框架,美观整洁,冲压模板,涂铝板,不生锈,无灰尘,应清洁。 

电子恒温恒湿洁净车间净化项目一般包括: 

1.恒温恒湿洁净车间洁净生产区域 

2.清洁辅助室(包括人员净化室,材料净化室和一些客厅等) 

3.管理区域(包括办公室,值班,管理和休息等)。 

4.设备区域(包括净化空调系统应用,电气室,高纯水和高纯气室,冷热机房) 

通常影响空气环境质量的重要因素之一便是工业生产的自然环境湿度。许多工业产品必须在特定湿度下生产。恒温恒湿洁净车间的温度和湿度必须满足生产过程的要求,同时也要满足人们的舒适。根据清洁度要求调节温度和湿度。就苏州工业园区电子厂房的净化而言,在大规模集成电路的光刻曝光过程中,作为掩模材料的玻璃与硅片之间的热膨胀系数差异越来越小。直径为100微米,温度上升1度的硅片导致0.24um的线性膨胀,因此它必须具有±0.1度的恒定温度,并且湿度值通常较低,因为在人出汗之后,该产品将受到污染,尤其是一个害怕钠的半导体车间。这个工作坊不应超过25度。湿度过高引起的问题更多。 当相对湿度超过55%时,冷凝水管壁上会形成冷凝水。 如果它发生在精密设备或电路中,将导致各种事故。 相对湿度为50%时容易生锈。 

恒温恒湿洁净车间应通过保持室内静压高于非洁净区域的静压来防止污染。 需要保持内部和外部之间的压力差:具有高清洁度水平的空间中的压力高于具有低清洁度水平的空间中的压力。 压力; 恒温恒湿洁净车间之间的门应该打开到一个高清洁度的房间; 清洁空间中的压力高于非洁净空间中的压力。 

 


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