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恒温恒湿洁净车间运用效果

恒温恒湿洁净车间运用效果

关键字:山东净化工程,恒温恒湿洁净车间
随着科学技术的迅速发展和人民生活水平的大幅度提高,为了研制高精密仪器或为了达到卫生等级要求,在山东越来越多的企业开始委托山东净化工程公司搭建恒温恒湿洁净车间。现在在恒温恒湿洁净的生产环境已经成为生产高精度仪器的重要条件。同时,恒温恒湿洁净车间的技术也开始变成权衡一个国度的科学技术发展水平和现代工业力量的关键指标之一。对于恒温恒湿洁净车间而言,不同的恒温恒湿洁净车间对净化度的要求自然也不同,有些净化等级要求严格,而对有的车间对净化等级要求比较宽松。
在山东净化工程项目中,对洁净等级要求最为严格的莫过于将数量为100门~9999门的逻辑门组合到单一芯片的的大规模集成电路(Large Scale Integration ),,以及在其之上的超大集成电路(Very Large Scale Integration Circuit,VLSI)的生产制作,而例如用于角运动检测的陀螺仪,和常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的半导体制造等对恒温恒湿洁净车间的净化度等级要求要稍微宽松一些;再如电子元件,光学机器对恒温恒湿洁净车间的净化等级要求还要再宽松一些。除了高效的空气净化功能和稳定的性能发挥之外,现代工厂企业的恒温恒湿洁净车间还需要考虑以下几点。

(1)、为了在恒温恒湿洁净车间内始终维持高净化度,恒温恒湿洁净车间内的净化空调必须以匀实调配的气流来清理气候室中室内污染源生产的灰尘颗粒,因此对气流的有严谨的规定。对于等级IS03至IS06(即净化等级1~1000)的恒温恒湿洁净车间,在山东净化工程中一般取纳上顶棚送风、下地板回风的垂直单向流气流方案。而对于等级ISO7至ISO8(即净化等级1000~100000)质量的恒温恒湿洁净车间,上顶棚送风、下侧回风口的非单向流气流方案经常被山东净化工程所取纳。

(2)、因为制造精密电子产品的方式流程极受洁净车间内湿度以及温度的影响,所以恒温恒湿车间控制精度必须相当严格,同时在洁净室工艺区域的空气参数须严格控制在极小的范围内。当下恒温恒湿洁净车间广泛采取了操控灵便、功能稳定的直接数控(Direct Digital Control,以下直接简称DDC)的净化空调系统,当室内空气参数达不到设计要求时,可直接了当地通过DDC控制系统来自动调节开大或者关小各阀门。这样就不至于因为恒温恒湿洁净车间内温度和湿度变化波动起伏太大而对产品成品率以及质量产生负面影响。

(3)、于精密电子器械生产流程中如必须运用能够危害人类健康的药品,恒温恒湿洁净车间必须保证信风量大,同时换气频率频繁,这样会让生产出有害的污染气体,快速排除于车间之外。同时不得不补给充足的新风以维持恒温恒湿洁净车间内正压(高于一个大气压的高压的气体状态)同时也可以达到净化要求标准。为了保持高净化度,恒温恒湿洁净车间室内规定保持较充足的换气频率,还要维持车间内的空气流速,一般流速不要太快要保持在在0.4m/s以下。


(4)、充足的冷负荷以及尽量小的湿负荷应该被恒温恒湿洁净车间净化空调所配备,以此数学上临近正无穷参数的热湿比可以被达到。同时建筑物中间一般为电子产品生产企业中的净化车间,同时因为净化车间内工艺设备的发热量极其客观,因此车间需终年排放车间内部剩余热量尽管通过围护结构的热量十分充足。举例来说单位面积的6in晶圆厂耗电量估计是1.35千瓦每平方米,相比之下单位面积的8in晶圆厂消耗电量则估计达到了1.9千瓦每平方米。除了密封在防尘服中的车间工作人员,通常无明显散湿源存在于净化车间内。但是,空气不能太干燥以防止产生静电现象,这就要求空调系统不能是减湿过程处理室内回风。

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